SP-P: リミット値の設定(SP1-L,SP1-H,SP2-L,SP2-H) SP1: 高真空側のセットポイント(黄点灯条件) SP2: 低真空側のセットポイント(赤点灯条件) L: セットポイント(低真空→高真空) H: セットポイント(高真空→低真空)
GEn-P: 一般のパラメータ(真空値の単位(unit)など)
緑ランプ: CCG 黄色(オレンジ): ピラニー