RSXS-Cube 調整手順

Staff: H. Nakao

架台調整

架台の粗調(放射光なし)
水準器で水平出し
・ビームに垂直方向
 mvr_rx ** mm (z1,z3(+) -- z2,z4(-))

・ビーム軸方向
 mvr_ry ** mm (z1,z2(+) -- z3,z4(-))

・レーザー墨出し器で高さ調整
 mvr_z ** mm

検出器の退避(SDDとチャンネルトロンの保護)
umv dx 60
(slit2全開の時に、CEMが見えるぐらいだが、SDDを守る意味でこの辺りとしている。)

スリット全開
slits (現状の確認)
nslit0 20 20
nslit1 20 20
nslit2 10 10

参考:検出器
I0(mon):後置鏡の電流値
PD(rear)(pd1[dt]): 角チャンバー下流のフォトダイオード(PD)
PD(diff, detector)(pd0)[dx=17.5]: 回折計2Θステージ上の4象限スリット下流のPD
Detector(det)[dx=0]: 回折計2Θステージ上の4象限スリット下流のシリコンドリフト検出器(SDD)

Direct beam check
モニターカウント(I0)をmon入れよう!
ct (mon)

umv sig 94 c_z 97 (or sig: -30.0)
ビームは下流まで抜けてますか?
pd1(dt)を光軸に戻す。信号強度確認。

_pa_on_=1
ct (dt)

回折計の再調整の場合:光軸を回折計に合わせる(BL-16A)
方法検討中
slit0, slit1のモータードライバの電源は、入ってますか?

mirror_init
chk_thresh=-1

[chk_mirror]
plotselect mon
DET=mon
chk_m0

umv s1l 9 s1r 9 s1t 9 s1b 9
ct (dt)
ここで、先に進む前に、回折計下流の蛍光板で 目の精度で回折計の中心にビームが来ていることを確認するのが安全。

_dmm_on_=1
plotselect dt
DET=dt
水平方向の調整:m3thz: + --> BL-15 (??)
umv s1l 0 s1r 9 s1t 9 s1b 9
lup m3thz -0.008 0.008 30 0.1
umv m3thz CEN;ct

垂直方向の調整:m3thy: + --> bottom
umv s1l 9 s1r 9 s1t 9 s1b 0
lup m3thy -0.02 0.02 30 0.1
umv m3thy CEN;ct

(これら一連の操作は、chk_mirrorコマンドでも行えるが、 最初から自動でやると、思わぬ位置にビーム調整される可能性がある。 例えば、pd1の検出器の端でビームの半割をしていたケースがあった。 BL-16Aでは、違うポートでの実験後、ビーム位置を戻しても かなりビーム位置がずれていることがあるので注意が必要である。 というか、全然ダメ。(2024) 毎回要修正。)

架台の調整
架台の再調整などでは、補助足が入っていることがあります。
補助足を抜いて、固定プレートのねじを緩めましょう。

[架台の粗調(目で合わす)]
  ビーム位置をピンホール横についている蛍光板で確認。
上流側
umv sig -73.3 (架台の設置の向きに依存するので注意)
高さを調整
mvr_z x(mm)

下流流側
umvr sig 180
mvr_z x(mm)
mvr_z_tilt x(mm) (プラス側は、下流が上に上がる方向)

[架台の微調]
  データファイルの作成を忘れずに。
newfile [filename (例えば、160509.dat)]

plotselect dt;DET=dt;
sig_org=114.83

狙いのピンホール位置の確認
ascan sig -62 -68 60 0.1
x位置の粗調
mv sig sig_org-180
lup x -5 5 80 0.1
umv x 狙いのピークの位置
(ここまでで、ちゃんと狙いのピンホールにビームが抜けていることとなる。)

base_al 1 (1のオプションを付けるとすべてのピンホール情報を取得)
base_al  (急ぎの場合は、こちら。ただし何かあった時にわからなくなることも)

試料より上流側の場合
sig=-38.2
試料より下流側の場合
sig=141.8
調整に用いるピンホールの位置は、それぞれ、sig=-38.2, 141.8近傍です。
補助足の固定と高さ方向の固定ネジのロックをここでする。(BL-11)
[ここで、最下流の蛍光板が光っている状態の記念撮影をしておくと良い。 何かあった時に、変わっていないかの確認となる。]

検出器部の0点調整
umv dx 73 (slit2の下流の検出器群の退避)
umv sig 0
umv tau 0 (tauRの0は、目視で確認。ズレがあれば要修正。)
ct (dt)

s2t,s2bのリミットスイッチ(LS)に当たるまでfullopen (s2t:8.9, s2b:8.2 目安)
s2r, s2lもfullopen (s2r:12.4, s2l:12.05) [ umv s2r 15 s2l 15 s2t 15 s2b 15 ]

lup tauT -12 12 50 0.1 (FWHM:16.0)
umv tauT CEN
set tauT 0

s2r, s2lを閉じる方のLSに当てる。
[ umv s2r -2 s2l -2 ]

set s2r -1.5
set s2l -1.5
umv s2r 0.5 s2l 0.5
lup sig 1.5 -1.5 30 0.1 (FWHM:0.4)
[BL-19Bでは、lup sig 0.4 -0.4 30 0.1 (FWHM:0.35)]
[BL-11Bでは、lup sig 3 -3 30 0.1 (FWHM:1.3)]
umv sig CEN
set sig 0

nslit2 10 10 (ビームがスリットを完全に抜けている状況にする)
slit1;slit2

 

アテネータ位置の調整
アテネータの架台の高さ,位置の調整具合にもよるが
ascan attz -2 2 30 0.1
umv attz CEN
set attz 0

ascan attx -2 2 30 0.1
umv attx CEN
set attx 0

この調整で、例えば
Al12μm: [umv attx 5 attz 12.25]
Al12μmx2: [umv attx 5 attz 22.25]
Al0.8μm: [umv attx 15 attz 12.25] となる。
Atten2
ちなみに、Al0.8μmは、ワッシャーの上にのっており、 5x5mm2の穴のサイズより小さい穴となることに注意。

検出器(SDD)への交換
umv sig 30
umv dx 0

plotselect det;DET=det;

回折計直上の真空バルブの制御

辻のコントローラの電源ON状態で、真空値が閾値を超えた場合。
vcm_open コマンドを入れた場合。
辻のコントローラのトグルスイッチONの場合。
これら3つの条件が1つでも満たされると、バルブが開となる。

従って、真空値が閾値に達しない、ゲージの表示器の電源OFF状態でのバルブ開/閉は、 vcm_open/vcm_close コマンドで行えるはず。

一方、強制的に閉じるためには、vcm_cn_disableとして真空ゲージからのenable状態を 止める必要がある。元に戻すのは、vcm_cn_enable。

○ 困ったときは

・分光器との通信がおかしくなった

reset_satars11
reset_satars_bl16a

 

 

 


その他
・pd0を利用して行うこともあるが、現在は、pd1を利用することに
(スリットは全開だが、PDの受光面が制限されており、スリットの中心より約1.3mm上に合う)
  umv dx 17.44 
  ct (pd0)
  lup tauT -7 7 30 1

・s2r, s2lを開く側のリミットで中心を合わせる場合   lup sig 5 -5 50 1 (FWHM:5.1)

検出器ステージ(dx)の0点調整(通常は必要ない)
umv dx 17.44
plotselect pd0;DET=pd0;
nslit2 1 10
lup dx -8 8 50 1 (FWHM:10)
umv dx CEN
set dx 17.44

umv dx -50
ct
PD(rear)へ信号が抜けることを確認。

スリットの0点調整
plotselect pd1;DET=pd1;
slit0;slit1

ome回転センターとビーム位置関係の確認
蛍光板の回転センターを出した上で、試料位置蛍光板でビーム位置を確認。
ビーム位置をネットワークカメラもしくは顕微鏡で確認。
(ネットワークカメラをBL-20、上流側に設置した場合  ome=約34,124,214でカメラの光軸がc_x, c_y軸と直行する)
ピンホールを回転センターに設置。(c_z=79.6)
umv ome 90
dscan c_x -1 1 30 1
dscan c_z -1 1 30 1

回転センターの精度の範囲で合っていれば良い。