次世代半導体露光光源にむけたEUV-FELの開発
Kプログラム次世代半導体微細加工プロセス技術の研究開発ビジョンにおいて、現在の半導体製造に用いられている最先端露光技術の更に先を見据えた、新規高性能光源の開発に向けた要素技術開発を行います。
本研究開発では、加速器技術を利用して、現在の半導体関連企業が有する光源技術の延長線上に無い、新しい光源技術を開発し社会実装を目指します。具体的には、超伝導加速空洞を用いたERL（エネルギー回収型線形加速器）にFEL（自由電子レーザー）発振技術を組み合わせることで、高効率で高出力のEUV光源（ERL型EUV-FEL）を開発します。
